MS張力傳感器在真空卷繞鍍膜設(shè)備中運(yùn)用到常見的兩款型號(hào)為L(zhǎng)MGZ軸承式張力傳感器和C203活動(dòng)軸張力傳感器。
FMS 真空張力傳感器采用全密封真空兼容設(shè)計(jì),通過(guò)特殊防脫氣處理與金屬焊接封裝工藝,有效避免內(nèi)部材料在真空環(huán)境下釋放氣體,防止腔體污染。傳感器可穩(wěn)定工作于10?? Pa 至大氣壓的全真空度范圍,在半導(dǎo)體芯片制造的 CVD、PVD 工藝,以及真空鍍膜設(shè)備的分子泵環(huán)境中,依然能保持 **±0.3%** 的測(cè)量精度,精準(zhǔn)捕捉微米級(jí)薄膜或金屬線材的張力變化。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)強(qiáng)化設(shè)計(jì),選用高純度不銹鋼材質(zhì),具備優(yōu)異的耐腐蝕性與機(jī)械強(qiáng)度,可抵御真空環(huán)境下的溫度驟變與壓力波動(dòng)。旗下LMGZ 系列采用懸臂梁式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),適用于窄幅材料的張力測(cè)量,在柔性電子器件制造的真空蒸鍍環(huán)節(jié)表現(xiàn)出色;C203 系列采用緊湊型設(shè)計(jì),支持軸徑式安裝,在卷繞式真空鍍膜設(shè)備中可實(shí)現(xiàn)對(duì)精密基材的穩(wěn)定監(jiān)測(cè)。同時(shí),全系傳感器支持多種信號(hào)輸出模式(RS485、Modbus、模擬量),能無(wú)縫對(duì)接各類真空設(shè)備的自動(dòng)化控制系統(tǒng),確保數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性與實(shí)時(shí)性。
憑借瑞士原廠嚴(yán)苛的測(cè)試認(rèn)證體系,F(xiàn)MS 真空張力傳感器已成功應(yīng)用于國(guó)外眾多真空生產(chǎn)線。在真空鍍膜行業(yè),精確控制柔性基材張力,保障納米級(jí)薄膜均勻沉積;于航空航天零部件制造中,為真空熱處理工藝提供可靠張力監(jiān)測(cè),助力提升產(chǎn)品良品率與生產(chǎn)效率。選擇 FMS 真空張力傳感器,即是選擇真空環(huán)境下的測(cè)量精度與品質(zhì)保障。