物聯(lián)網(wǎng)芯片光刻高低溫一體機(jī)，支持-60℃至250℃溫度范圍，適配傳感器、嵌入式芯片等多種工藝。設(shè)備采用緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)省空間，支持多工位同步溫控。智能數(shù)據(jù)記錄功能可追溯工藝參數(shù)，適用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備制造商提升芯片