JSM-IT800具備高分辨觀察和高速元素面分析，能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍、新一代電子光學控制系統(tǒng)NeoEngine、一體化EDS、易用的操作導航SEMCenter、及可置換的物鏡模塊。