美國PARKER派克VSO微型比例閥操作流程VSO微型比例閥提供了增強的流控制應(yīng)用精確控制56slpm流控制是必需的。VSO微型比例閥提供了精確的氣體流量控制輸入電流比例。閥門可以控制直流電流或脈沖寬度調(diào)制以及提供閉環(huán)反