樣品支架用于放置待測樣品，探頭架設(shè)于位移臺，位移臺由2組位移機構(gòu)構(gòu)成，電機控制器分別控制2組位移臺移動至設(shè)定位置，實現(xiàn)樣品掃描，其中X、Y軸位移臺用于樣品掃描，Z軸位移臺用于探頭調(diào)焦，以實現(xiàn)不同厚度樣品測