技術(shù)參數(shù):
機(jī)型 | HX-LM-2000 |
設(shè)備尺寸 | 約1520(L)x1800(W)x1987(H)mm |
激光波長(zhǎng) | 355nm/532nm/1064nm |
激光功率 | 5W?50W |
脈沖能量穩(wěn)定性 | <2% |
字體 | DotmatrixSEMIOCR5*9/9*17/10*18 Barcode SEMIBC412SEMIT7 |
光束質(zhì)量M2 | <1.2 |
定位精度 | ±100um |
點(diǎn)深度 | (1.5?5)±0.5μm |
點(diǎn)直徑 | (50?70) ±5μm |
晶圓材質(zhì) | 無(wú)涂層硅片/氧化硅片/碳化硅/砷化鎵/鉭酸鋰/鈮酸鋰 |
晶圓尺寸 | 100mm/150mm/200mm/300mm |
晶圓傳送 | 單臂/雙臂 機(jī)器人 |
晶圓校準(zhǔn)器 | 光電式 |
Loadport | 1個(gè)/2個(gè) |
產(chǎn)能 | 120(OnlyLaser)/100(LaserandOCR) |
清潔度 | <Class 100 |
MTBF | >350hr |
MTTR | <4hr |
可運(yùn)行時(shí)間 | ≥95% |
電源要求 | AC220V 20A 50Hz |