產(chǎn)品優(yōu)勢
- 01皮秒光源,效果好
采用皮秒光源,在材料表面進行打標/打碼,熱影響小,效果好
- 02打標/打碼支持多種格式?可支持:QRCode、DMCode、線體文字等多種格式
- 03支持信息上傳
配備讀碼模塊,支持信息上傳MES系統(tǒng)
- 04兼容性及自動化程度高
設備兼容8-12inch晶圓,全自動上下料
- 05自動開關,節(jié)省人工?配備Load機構,可自動打開/關閉晶圓料盒
- 06大理石基座,穩(wěn)定性高
采用大理石基座,光路系統(tǒng)穩(wěn)定,從而保證高質量的光學傳輸
技術參數(shù)
HD S2113 | 主要技術參數(shù) | |
激光器參數(shù) | 平均輸出功率 | ≥5W(選配) |
脈沖寬度 | <10ps | |
激光波長 | 光源選配 | |
直線電機參數(shù) CCD定位系統(tǒng) 讀碼系統(tǒng) | 電機行程 | 450*650mm |
像素 | 1200萬像素,定位精度0.003mm | |
像素 | 600萬像素 | |
加工精度 | 定位精度 | ≤±0.03mm |
加工尺寸精度 | ≤±0.02mm | |
搬運機器人 | 機器人手臂數(shù) | 單/雙臂 |
Finger | 夾持/吸附 | |
其他功能 | 上料機 | 是 |
Mapping功能 | 是 | |
尋邊機 | 兼容8- 12inch | |
通用指標 | 潔凈等級 | 百級500 |
設備尺寸 | 1900mm*1800mm*1950mm(主體) | |
設備重量 | 約2.5t |
樣品展示

各類晶圓打標示意圖