Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵(干式真空泵)
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)多級(jí)羅茨泵 (干式真空泵) 為各種應(yīng)用提供清潔和干燥的真空環(huán)境！提供適合清潔制程應(yīng)用的 ACP 系列多級(jí)羅茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 適合普通制程應(yīng)用的 A3P 系列和適合嚴(yán)苛制程應(yīng)用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、適合清潔制程應(yīng)用的干泵
氣冷型多級(jí)羅茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保養(yǎng), 適用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程.
| 型號(hào) | 接口尺寸 DN | 極限真空度 mbar | 抽速 | 漏率 | 重量 | |
| 有氣鎮(zhèn)閥 | 無氣鎮(zhèn)閥 | m3/h | mbar l/s | kg | ||
| ACP 15 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 14 | < 5.10-7 | 23 |
| ACP 28 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 27 | < 5.10-7 | 30 |
| ACP 40 SD | 40 | 0.1 | 3.10-2 | 37 | < 5.10-7 | 32 |
SD: 標(biāo)準(zhǔn)版本, 適用于要求清潔無塵且無腐蝕性氣體的應(yīng)用設(shè). 標(biāo)準(zhǔn)泵配有氣鎮(zhèn)閥, 可以改善小分子氣體的抽氣能力并避免泵內(nèi)部冷凝. 三種氣鎮(zhèn)可選,滿足不同應(yīng)用
G: 抗腐蝕版本, 適用于微量腐蝕性氣體, 三個(gè)吹掃氣體噴嘴可保護(hù)低壓和高承, 并稀釋一定量的腐蝕性氣體.
CV: 耐水汽版本, 適用于抽氣環(huán)境含有水汽的應(yīng)用, 純水蒸汽容量擴(kuò)展至 1,000 g/h
SH: 無氟版本
CP: 氣體回收版本, 通入氣體必須是清潔, 無塵, 無腐蝕性的氣體
緊湊型多級(jí)羅茨泵 A 100 L , 用于潔凈制程的整體式干泵
| 型號(hào) | 進(jìn)氣口尺寸 DN | 極限壓力 hPa | 抽速 | 噪音比 | 重量 |
| m3/h | dB (A) | kg | |||
| A 100 L | 50 | 6.6 X 10-3 | 100 | 58 | 100 |
| A 100L ES | 50 | 7 X 10-4 | 100 | 55 | 100 |
| A 200 L | 50 | 8 X 10-3 | 200 | 58 | 100 |
L: 標(biāo)準(zhǔn)版本 ES: 節(jié)能版本
適合工業(yè)用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低極限壓力多級(jí)羅茨泵 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應(yīng)用
| 型號(hào) | 連接尺寸 DN | 吹掃流為50 SL/mn 極限壓強(qiáng) | 抽速 | 噪音比 | 重量 |
| Mbar | m3/h | dBA | kg | ||
| ACP 120 | 50 | NA | 95 | < 65 | 205 |
| ACP 120 G | 50 | 3E-2 | 95 | < 65 | 205 |
| ACG 600 G | 100 | 6 X 10-3 | 480 | 68 | 320 |
二、適合普通制程應(yīng)用的 A3P 系列, 適用于針對(duì)中型工藝的高能效技術(shù)
具有三款型號(hào)可選, 由于產(chǎn)品極大地降低了運(yùn)營(yíng)成本, 使其在市場(chǎng)中脫穎而出. 與以往真空泵技術(shù)相比, 節(jié)約能耗可達(dá) 50％, 在工藝適應(yīng)性方面, 該系列真空泵結(jié)合了的技術(shù).此外, 由于產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊, 使其與傳統(tǒng)的真空泵相比, 可節(jié)約高達(dá)50％的空間.
三、適合嚴(yán)苛制程應(yīng)用的 ADH , A4H, A4X 系列.
