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廣州文明機(jī)電有限公司


JEBG 系列大功率電子槍?電源

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JEBG系列大功率電子槍是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜，還可應(yīng)用于電子束熔煉，用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉

詳細(xì)介紹

JEBG系列大功率電子槍是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜，還可應(yīng)用于電子束熔煉，用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。


電子束能大范圍地快速掃描，通過(guò)專用的控制裝置和軟件，能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個(gè)照射位置上設(shè)定掃描、停留時(shí)間、輸出功率及電子束形狀，因而能夠控制熔融面和膜厚分布。

用途

  • 真空蒸鍍
    阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。

  • 真空熔解
    Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。
    提煉太陽(yáng)能電池的多晶硅

型號(hào)EBG-300UAJEBG-1000UBJEBG-3000UB
輸出功率

30kW

(20kV, 1.5A)

100kW

(30kV, 3.4A)

300kW

(40kV, 7.5A)

偏轉(zhuǎn)角Max. ±30°
掃描范圍X, Y 軸
掃描頻率300Hz200Hz

200Hz

(300Hz: 選配)

適用電源ST-30BE2JST-100CJST-300CHR

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