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行業(yè)產(chǎn)品

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賽福儀器承德有限公司


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CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地承德市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-11-14 19:33:36瀏覽次數(shù)：183次

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產(chǎn)品簡介

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計，并可自動切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>

詳細(xì)介紹

0609_遠(yuǎn)程等離子.jpg

產(chǎn)品特點(diǎn)

v 雙等離子清洗源

v 一機(jī)多用

v 高效低損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40（CF40）

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)，


遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器

氣體控制

標(biāo)配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源/功率

220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護(hù)

關(guān)鍵詞：流量計 電磁閥
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