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上海繪吉電子科技有限公司
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC
GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，其工作溫度可達1600℃，極限真空度可達 to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。
| 技術參數 | ||
|---|---|---|
| GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 | ● 采用雙層殼體結構，并帶有風冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C. ● 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 ● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 ● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動 ● 儀器上已經安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組 |
| 爐管 | ● 材質: 高純氧化鋁陶瓷管 ● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上 ● （標配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length ● （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length | |
| 功率 | 6KW | |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 加熱元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
| 工作溫度 | ● 工作溫度.: 1650°C ● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C | |
| 升溫速率 | ≤5°C/min | |
| 加熱區(qū)長度 | ● 加熱區(qū)長度: 457 mm (18") ● 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數據，請與我公司銷售人員聯系 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 采用PID方式自動控制，并可設置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 控溫儀表操作視頻 ● 熱電偶: B 型，已經安裝在爐內 | |
| 真空法蘭 | ● 一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝 ● 法蘭上帶有一機械壓力表 ● 兩個精密針閥 ● 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口 ● 一個1/4"卡套接頭 | |
| 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
| 高真空機組 | 功率 | 100~110W |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
| 殼體 | ● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 承載量:600 Lbs on top ● 分子泵控制面板:LCD 數字顯示 ● 內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | |
| 控制面板 | ● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動） ● 系統(tǒng)控制旋轉速率：根據腔體內的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率      | |
| 抽氣速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 極限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
| MFC 質量流量控制器 | 殼體 | ● 采用 316不銹鋼制作 ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ● MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據客戶要求定制  |
| 功率 | 18W | |
| 工作電壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |
| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 | |
| 質量認證 | ● CE 認證 ● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證 ● 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證 | |
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