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激光調(diào)阻機的工藝性能
閱讀:558 發(fā)布時間:2019-12-10激光微調(diào)是利用數(shù)控激光切割機的激光器可聚焦成很小的光斑,能量集中,有選擇的氣化部分材料來制造微電子元件的一種方法。
用激光對電阻、電容進行精密微調(diào),加工時對臨近的元件熱影響極小,不產(chǎn)生污染,易于計算機控制,具有速度快、效率高、可連續(xù)監(jiān)控等優(yōu)點,與常規(guī)微調(diào)方法相比,還具有精度高、再現(xiàn)性好和阻值不隨時間變化的特點。
激光微調(diào)廣泛用于厚、薄膜元件和電路的參數(shù)微調(diào),包括電阻器、電容器、石英諧振腔、單片濾波器的參數(shù)調(diào)諧,混合集成電路放大器、分壓器、穩(wěn)流器、數(shù)字模擬與模擬數(shù)字交換器、高頻振蕩器、運算放大器等以及石英壓電設備(包括振蕩器、濾波器)的功能調(diào)節(jié),半導體集成電路的微調(diào),消除了影響多種集成電路精度的種種限制。
由于激光光束能精確的定向、定位在小尺寸區(qū)域內(nèi),并以規(guī)定的形式結(jié)合小的熱作用區(qū),可對薄膜元件進行精密單件微調(diào),因加工中沒有中間(化學)過程并可在大氣中加工,所以可實時檢驗結(jié)果,并實現(xiàn)激光加工過程的自動化,具有精度高、工藝簡便和高效的特點。