本特利 3500/92 136180-01
本特利 3500/92 136180-01
1．真空度（壓力）控制概述
在許多真空系統(tǒng)中，為了實施特定的工藝過程或達(dá)到一定的實驗條件，需要真空系統(tǒng)中的真空度恒定在特定以及關(guān)鍵的設(shè)定值，這就需要對真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度進(jìn)行控制。真空度控制一般通過上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和兩種模式結(jié)合的方法實現(xiàn)。業(yè)內(nèi)一般將上游模式定義為控制輸入真空系統(tǒng)的氣體，下游模式定義為控制泵送系統(tǒng)的節(jié)流，即以真空系統(tǒng)為參照物，真空系統(tǒng)上游的進(jìn)氣控制為上游模式，真空系統(tǒng)下游的出氣控制為下游模式。
無論是自動的上游控制還是下游控制，都需要電動控制閥來實現(xiàn)。在目前國內(nèi)外真空系統(tǒng)的真空度控制過程中，由于技術(shù)的限制，絕大多數(shù)還都是采用單一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但隨著雙向控制技術(shù)的突破，可以實現(xiàn)上下游模式的同時控制。
本文詳細(xì)介紹了真空系統(tǒng)中上下游真空度控制模式的特點以及在應(yīng)用中存在的問題，介紹了雙向控制技術(shù)的特點。
1．真空度（壓力）控制概述
在許多真空系統(tǒng)中，為了實施特定的工藝過程或達(dá)到一定的實驗條件，需要真空系統(tǒng)中的真空度恒定在特定以及關(guān)鍵的設(shè)定值，這就需要對真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度進(jìn)行控制。真空度控制一般通過上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和兩種模式結(jié)合的方法實現(xiàn)。業(yè)內(nèi)一般將上游模式定義為控制輸入真空系統(tǒng)的氣體，下游模式定義為控制泵送系統(tǒng)的節(jié)流，即以真空系統(tǒng)為參照物，真空系統(tǒng)上游的進(jìn)氣控制為上游模式，真空系統(tǒng)下游的出氣控制為下游模式。
無論是自動的上游控制還是下游控制，都需要電動控制閥來實現(xiàn)。在目前國內(nèi)外真空系統(tǒng)的真空度控制過程中，由于技術(shù)的限制，絕大多數(shù)還都是采用單一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但隨著雙向控制技術(shù)的突破，可以實現(xiàn)上下游模式的同時控制。
本文詳細(xì)介紹了真空系統(tǒng)中上下游真空度控制模式的特點以及在應(yīng)用中存在的問題，介紹了雙向控制技術(shù)的特點。
優(yōu)勢產(chǎn)品：
l Invensys Foxboro（福克斯波羅）：I/A Series系統(tǒng)，F(xiàn)BM（現(xiàn)場輸入/輸出模塊）順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數(shù)模轉(zhuǎn)換、輸入/輸出信號處理、數(shù)據(jù)通信及處理等。
l Invensys Triconex: 冗余容錯控制系統(tǒng)、基于三重模件冗余（TMR）結(jié)構(gòu)的現(xiàn)代化的容錯控制器。
l Westinghouse（西屋）： OVATION系統(tǒng)、WDPF系統(tǒng)、WEStation系統(tǒng)備件。
l Schneider Modicon（施耐德*康）：Quantum 140系列處理器、控制卡、電源模塊等。
l ABB：工業(yè)機(jī)器人備件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
l Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens數(shù)控系統(tǒng)等。
l Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
l XYCOM：I/O 、VME板和處理器等。
l GE FANUC(GE發(fā)那科)：模塊、卡件、驅(qū)動器等各類備件。
l Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服馬達(dá)、伺服驅(qū)動器。
l Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅(qū)動模塊等。
l Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數(shù)字控制器。
